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    最早的切片(Slicing)方式是使用内径切割机。这样的内径切割机的刀片内缘镶有作为切削用途的钻石颗粒，借由它的切削作用，可将硅晶棒一片一片地切成晶片。然而内径切割机的最大缺点是切损太大(由于刀片厚度的关系)，比较耗时，而且在切薄片的时候容易造成晶片的破损，所以已被更先进的线切割机取代。
    线切割机的原理示意图，线切割机所使用的钢线缠绕在4个主轮上，在主轮上有500～700个平行的沟槽，钢线即由主轮的一侧绕到另一侧。这种安排就像是织布机上的网状织线一般。在线切割机里头的钢线，如果把它伸展开来，可以长达数百千米。在切锯过程中，必须施予钢线适当的张力，并使钢线快速地来回拉动，钢线移动的速度为600～800m／min。钢线本身并没有切削能力，它的作用仅在带动有切削能力的浆料，使其对晶捧进行切片动作。
    一般的浆料是由油及碳化硅(SiC)混合而成的，这种浆料不仅是研磨剂，而且可以用来带走切削过程所产生的热。目前也有公司使用水基系列或水溶性的浆料，如聚乙二醇(PEG)。浆料中碳化硅颗粒的大小为5～30μm，它的价格占了整个切片成本的25％～35％。使用油基浆料的最大缺点是晶片容易彼此粘在一起而不易分开，当晶片的厚度越来越薄时，这点会变得更加严重。
    一般用在太阳能电池上的晶片厚度为200～280μm，这厚度远低于IC级硅晶片，所以切片制作工艺在太阳能电池产业反而更具挑战性。切损的程度与所使用的钢线直径及碳化硅颗粒大小有关。目前常用的钢线直径为180μm，碳化硅颗粒的大小为5～30μm，这使得切损程度在200～250μm。所以使用直径更小的钢线，可以降低切损及增加切片产出率。
 

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