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    多晶硅的制造技术除了使用SiHCl3作为原料外，在理论上也可使用SiH4，SiH2Cl2，SiCl4等作为原料。然而在工业上，考虑的不单是化学理论，还有生产时的成本、安全性、质量与可靠性等。出于这些考虑，SiH2Cl2及SiCl4并不适合用来生产多晶硅原料。使用SiH4(硅烷)作为原料的技术起源于20世纪60年代末期的ASiMi(Advanced Silicon Materials Inc.)公司。使用SiH4作为原料可以节省电力，因为它可以在较低的温度下沉积产生纯度更高的多晶硅原料。ASiMi方法是将SiH4加热到高温，使其分解产生Si与H2产生的Si同样沉积在晶种上形成高纯度的硅多晶棒。
 

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