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1. 一般规章
1.1使用具有腐蚀性的化学品时需要具备足够的防护措施，建议使用抗腐蚀的盖板、衣服、鞋、手套和护目镜。此外，需确保自己一旦发生事故的情况下，能找到适当的紧急喷淋冲洗设施。
1.2 决不在机器内单独工作。
1.3 不要打开或去除正在运行的设备盖板，因为其内部蒸汽为危险性的酸或碱。

2. RENA InTex机器正常操作的要求
2.1 化学供应和处理
2.1.1 RENA InTex设备正常运行情况下，要求稳定的供应HF—15（L/h）、HNO3—15（L/h）、HCl—5（L/h）、KOH—3（L/h）和DI water，这些数值可以随用量不同而变化。另外，建议备用HF—150L、HNO3—250L、HCl—75L、KOH—10L，提供给新化学槽使用。
2.1.2 对于使用传感器准确测量化学品的流量，至少要求7L/min的流量。对于使用化学槽处理，装载HF/ HNO3的刻蚀槽，其最大体积为550L。
2.2 压缩空气
2.2.1 对RENA InTex设备的Air Knifes规定的操作压力要求至少为4bar，Air Knifes不使用的情况下，压力需为6bar。
2.2.2 若Air Knifes的气压不足，刻蚀槽的HF和HNO3可能会发生反向流动，导致alkaline bath的刻蚀产生棕色污点，因此造成产品品质不良。
2.2.3 若Air Knifes 2和Air Knifes 3的气压不足，可能硅片没有被正确的吹干，因此将需要另外的清洁处理程序。
注：当Air Knifes动作时请确认所有的阀门都打开。
 

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